天然气连续式气氛保护光亮退火炉的制作方法

　　1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不一样的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

　　2、已知申请号为：cn8.0的授权专利，其公开了一种天然气加热节能型罩式退火炉，包括底板，所述底板的上表面设有炉座，所述炉座中安装有罩式退火炉，所述罩式退火炉的上侧壁右侧设有排烟管，所述排烟管的上端设有过滤盒，所述过滤盒的上端连接有第一烟气导管，所述第一烟气导管的下端连接有引风装置。该方案产生的高温烟气可以对炉座中的导热油加热，实现了余热利用，有效的减少能源的消耗，同时炉座的真空层可以轻松又有效的减少炉座的内部热量散出。

　　3、然而在实施有关技术中发现上述技术方案存在以下问题：其在使用的过程时，不便于对过滤网进行自动清理，其过滤网采用固定设计安装在盒体内，经常使用需清理时，还需停机拆卸清理，较为麻烦费时，因此导致使用便捷性和过滤效率降低。

　　1、本实用新型提出天然气连续式气氛保护光亮退火炉，解决了有关技术中不便于在使用的过程中对过滤网进行自动清理的问题。

　　2、本实用新型的技术方案如下：天然气连续式气氛保护光亮退火炉，包括：底座，所述底座的顶部一侧固定安装有炉体，所述底座的顶部另一侧固定安装有过滤箱，所述过滤箱和炉体之间通过管道相连通；

　　3、所述过滤箱内固定安装有滤网，所述过滤箱内设有移动机构，所述移动机构的表面设有安装板，所述安装板的一侧贯穿转动连接有多个轴杆，所述轴杆的一端固定连接有和滤网相接触的毛刷盘；

　　4、所述轴杆的另一端固定连接有相互啮合的齿轮，所述过滤箱的内壁一侧固定安装有和多个齿轮的其中一个相啮合连接的齿条；

　　6、进一步的，所述移动机构包括固定安装在过滤箱内壁一侧之间的导杆、转动连接在过滤箱内壁另一侧之间的往复丝杠与设在过滤箱顶部的驱动件。

　　7、所述驱动件由固定安装在过滤箱顶部的电机一所构成，所述电机一的输出端穿过过滤箱和往复丝杠相连接，所述安装板螺纹连接于往复丝杠表面并和导杆相滑动连接。

　　8、进一步的，所述集尘机构包括开设在过滤箱底部的排渣口、固定安装在过滤箱底部且和排渣口对应的壳体、转动连接在壳体内的绞龙杆、设在壳体一侧的动力件、设在壳体表面底部的收集部件。

　　9、所述动力件由固定安装在壳体一端的电机二所构成，所述电机二的输出端穿过壳体和绞龙杆相连接。

　　10、所述收集部件由固定安装在排出管与螺纹连接在排出管底端的收集瓶所构成。

　　11、进一步的，所述抽气机构包括固定安装在炉体表面的u形壳、填充在u形壳内的导热油、固定安装在过滤箱一侧的抽风机与固定安装在抽风机输出端并和u形壳相连接的烟尘管。

　　12、进一步的，所述炉体的顶部固定安装有进气管，所述炉体的正表面铰接有炉门。

　　14、过滤时，通过移动机构带动安装板上下往复移动，从而带动毛刷盘上下移动对滤网清理，同时在齿条的作用下使齿轮转动，使毛刷盘旋转对滤网清扫，以便于提升清理效果，后经集尘机构对清理掉的灰尘进行收集，继而实现对滤网的表面附着的杂质灰尘进行自动清理的效果，无需停机清理，避免杂质灰尘堆积影响滤网的透气性和过滤性，有效提升了使用便利性和加工效率。

　　1.天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是，包括：底座（1），所述底座（1）的顶部一侧固定安装有炉体（2），所述底座（1）的顶部另一侧固定安装有过滤箱（3），所述过滤箱（3）和炉体（2）之间通过管道相连通；

　　2.根据权利要求1所述的天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是：所述移动机构包括固定安装在过滤箱（3）内壁一侧之间的导杆（10）、转动连接在过滤箱（3）内壁另一侧之间的往复丝杠（11）与设在过滤箱（3）顶部的驱动件。

　　3.根据权利要求2所述的天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是：所述驱动件由固定安装在过滤箱（3）顶部的电机一（12）所构成，所述电机一（12）的输出端穿过过滤箱（3）和往复丝杠（11）相连接，所述安装板（5）螺纹连接于往复丝杠（11）表面并和导杆（10）相滑动连接。

　　4.根据权利要求1所述的天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是：所述集尘机构包括开设在过滤箱（3）底部的排渣口、固定安装在过滤箱（3）底部且和排渣口对应的壳体（13）、转动连接在壳体（13）内的绞龙杆（14）、设在壳体（13）一侧的动力件、设在壳体（13）表面底部的收集部件。

　　5.根据权利要求4所述的天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是：所述动力件由固定安装在壳体（13）一端的电机二（15）所构成，所述电机二（15）的输出端穿过壳体（13）和绞龙杆（14）相连接。

　　6.根据权利要求4所述的天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是：所述收集部件由固定安装在排出管（16）与螺纹连接在排出管（16）底端的收集瓶（17）所构成。

　　7.根据权利要求1所述的天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是：所述抽气机构包括固定安装在炉体（2）表面的u形壳（18）、填充在u形壳（18）内的导热油、固定安装在过滤箱（3）一侧的抽风机（19）与固定安装在抽风机（19）输出端并和u形壳（18）相连接的烟尘管（20）。

　　8.根据权利要求1所述的天然气连续式气氛保护光亮退火炉，其特征是：所述炉体（2）的顶部固定安装有进气管（6），所述炉体（2）的正表面铰接有炉门。

　　本技术涉及退火炉技术领域，提出了天然气连续式气氛保护光亮退火炉，包括底座，所述底座的顶部一侧固定安装有炉体，所述底座的顶部另一侧固定安装有过滤箱，所述安装板的一侧贯穿转动连接有多个轴杆，所述轴杆的一端固定连接有和滤网相接触的毛刷盘；所述轴杆的另一端固定连接有相互啮合的齿轮；所述过滤箱的底部设有集尘机构，所述过滤箱的一侧设有抽气机构。通过移动机构带动安装板上下往复移动，从而带动毛刷盘上下移动对滤网清理，同时在齿条的作用下使齿轮转动，使毛刷盘旋转对滤网清扫，继而实现对滤网的表面附着的杂质灰尘进行自动清理的效果，无需停机清理，有效提升了使用便利性和加工效率。

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